兰迪时讯-肖特在日本销售光敏玻璃

兰迪钢化炉近日了解到肖特（SCHOTT）将在日本市场推出光敏玻璃“FOTURAN II”，该产品可在紫外线照射下结晶化，可用做半导体及生物技术领域的玻璃基板。

在紫外线照射下，玻璃本身会发生变质，再经过热处理就会结晶化（陶瓷化），成为光敏玻璃。无需使用光刻胶，只用氢氟酸即可仅蚀刻结晶化的部分。肖特的产品的特点是，玻璃部与陶瓷部的刻蚀选择比高达30比1，容易加工。

使用光刻胶蚀刻普通玻璃时，蚀刻会向各向同性发展，因此很难实现高深宽比加工。而感光性玻璃是选择性蚀刻结晶化的部分，从原理上来说没有深宽比限制，因此能够实现20～30μm的微细图案加工。